广州潽拓光电科技有限公司是一家专业做莱宝分子泵维修、德国莱宝真空泵维修、原装莱宝真空泵维修、莱宝涡轮分子泵维修的公司,专业莱宝分子泵保养维修,修理,莱宝复合分子泵维修,修理,现在针对广州各地均可收件。
广州潽拓光电——BPG400 /BPG402 英福康INFICON
INFICON皮拉尼复合真空计
产品型号:BPG400
I
半导体工艺和输送室中的压强测量
工业镀膜
一般真空测量和控制,从低至超高真空范围
优点
极宽的测量范围从 5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10 乇至大气压)
很好的重复性,压强范围10-8 … 10-2 毫巴均为5%
皮拉尼连锁保护灯丝,防止过早烧毁
双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝
可选图形显示和现场总线接口
自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的干预
容易更换具有在机校准的传感元件,保证高度重复性
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广州潽拓光电——INFICON皮拉尼电容式膜片真空计PCG550 3PC1-001-0000
INFICON皮拉尼电容式膜片真空计(PCG55x)集INFICON皮拉尼技术和陶瓷电容式膜片传感器的优势于一体。
在10毫巴和大气压力之间的测量范围内,电容式膜片技术不受气体类型限制,能够提供高**度的压力测量值。PCG55x型皮拉尼电容式膜片真空计功能丰富,提供多种配置,可满足您的特定应用要求。
益处在10毫巴以上压力下不受气体类型限制–能够安全排放任何气体混合物在大气压力下具有高度的准确性和再现性–能够进行可靠的大气压力检测快速大气检测功能–能够消除等待时间并缩短过程周期灵活的安装方向–提供自由的工具设计可配备钨丝(PCG550)、镍丝(PCG552)或全陶瓷涂层(PCG554)传感器装置用于高腐蚀性应用易于更换的即插即用式传感器元件与板载校准数据–确保高度再现性和低拥有成本便于集成的可选输出信号可选大气开关、显示屏和数字接口典型应用加载互锁控制前级真空压力测量真空系统中的安全电路中真空和低真空范围内的一般真空测量和控制
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广州潽拓光电——真空计 BPG400 and PCG 402 的工作原理
1、真空计 BPG400 and PCG 402 都是皮拉尼(Pirani)真空计2、皮拉尼(Pirani)真空计原理低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。 原理
金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立
Q = I2R = Qg + Qr + Qs (1)
Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。 气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为
Qg = αΛπda(T-T0)p (2) T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。 剩下的Qs和Qr可以分别表示如下
Qs = Sκ(T-T0)/L (3) Qr = πdaσε(T4-T04) (4) (3)是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,L是电极的长度。(4)式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定,则(3)和(4)式为常数。如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为
I2R = Ap + I02R (5) A = αΛπda(T-T0) (6) I0是压力为0的时候细线的电流, 是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。A式是不依存压力的定数 如果已知细线的电阻R,电流I0及定数A,则可以通过(5)式求得压力P。